簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="化學機械研磨"


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    1

    化學機械研磨終點檢測之專利創研機制之研究
    • /95/ 碩士
    • 研究生: 許世民 指導教授: 蔡明忠
    • 本論文主要在研究一個以化學機械研磨終點檢測之專利創研機制,以輔助使用者在終點檢測達到專利新構想產生為目的。本研究分析110篇終點檢測專利,利用本體論概念建立化學機械研磨終點檢測之本體知識,再建立終點…
    • 點閱:258下載:7

    2

    TRIZ理論在CMP終點檢測技術發展之應用
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 劉明曄 指導教授: 蔡明忠
    • 本論文主要是探討如何利用TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving)創造發明的理論,應用在晶圓(WAFER)生產過程中最重要的化學機械研磨(Chemical …
    • 點閱:518下載:4
    1